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WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头.?本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔”?的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.?
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WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头.?本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔”?的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.?
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括:?颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格.?是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
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标准配置 | |
目镜 | 大视野?WF10X(视场数Φ22mm) |
? 无限远长工作距离平场消色差物镜 | PL L5X/0.12????工作距离:26.1 mm |
PL L10X/0.25???工作距离:20.2 mm | |
PL L40X/0.60???工作距离:3.98 mm | |
PL L60X/0.70???工作距离:3.18 mm | |
PL L100X/0.90??工作距离:2.2?mm??(干式) | |
目镜筒 | 30?倾斜,瞳距调节范围53~75mm.? |
调焦机构 | 粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm. |
转换器 | 五孔(内向式滚珠内定位)? |
载物台 | 双层机械移动式载物台,?外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm |
落射照明系统 | 6V30W卤素灯,亮度可调 |
配置黄、蓝、绿滤色片与磨砂玻璃片 | |
内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器 | |
透射照明系统 | 阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降 |
集光镜中内置视场光栏 | |
配置蓝滤色片与磨砂玻璃片 | |
6V30W卤素灯、亮度可调 | |
防霉 | 特有防霉系统 |
? ? 系统组成 | 电脑型(WMZ-9190C) 1.硅片检测显微镜?2.适配镜?3.摄像器(CCD)?4.计算机(选购)? |
数码型(WMZ-9190D) 1、硅片检测显微镜?2、适配镜?3、数码相机(选购) | |
可选配件 | |
目镜 | 分划目镜10X(Φ22mm) |
物镜 | 明场物镜?20X、50X、80X |
CCD接头 | 0.5X、1X、0.5X带分划尺 |
摄像仪 | USB输出:130/300/500/1000万像素 |
数码相机接头 | CANON(EF) NIKON(F) |
分析App | 二维图像测量分析App |